ロボット研磨装置 軸形に於ける多工程加工の面精度向上を1HEAD対応で可能になります。ガラス・セラミック・樹脂基板等々への端面部の最終面精度向上やパワー半導体・シリコンウエハー等の外径円周部の面精度向上に使用できます。 平面研磨・直線、角曲線面取り 球面・テーパー面・外径研磨 斜面研磨 平面研磨 イプロス掲載ページへ