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製品情報

ロボット研磨装置

軸形に於ける多工程加工の面精度向上を1HEAD対応で可能になります。ガラス・セラミック・樹脂基板等々への端面部の最終面精度向上やパワー半導体・シリコンウエハー等の外径円周部の面精度向上に使用できます。

平面研磨・直線、角曲線面取り      球面・テーパー面・外径研磨

斜面研磨                平面研磨

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