ロボット研磨装置

ロボットアームにフィルム研磨ユニットを搭載したロボット研磨装置
ロボット研磨装置による平面研磨と直線・角曲線の面取りが施された加工サンプル

平面研磨・直線、角曲線面取り

ロボット研磨装置により先端球面・テーパー面・外径部が複合研磨された段付きシャフトの加工サンプル

球面・テーパー面・外径研磨

ロボット研磨装置により斜面（テーパー面）が精密に仕上げられた金属ワークの加工サンプル

斜面研磨

ロボット研磨装置により表面の粗さ改善・平坦化が行われた円盤状ワークの平面加工サンプル

平面研磨

ロボット研磨装置は、ロボットの動作とフィルム研磨機構を組み合わせることにより、さまざまな形状の面精度向上を1台で対応可能になります。
ガラス・セラミック・樹脂基板などの端面部の最終面精度向上やパワー半導体・シリコンウェハ等の外径円周部の面精度向上に使用できます。

主な対象・用途

  • ガラス・セラミック・樹脂基板の端面仕上げ
  • パワー半導体・シリコンウェハの外径円周部
  • 面取り部や曲面部への追従加工
  • 多品種ワークの自動研磨